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研究人員開發(fā)了一種新的制造技術(shù)，能夠在低溫下生產(chǎn)高質(zhì)量的氧化膜和有效的圖案化，并制造出非易失性電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器。通過(guò)克服現(xiàn)有制造技術(shù)的缺點(diǎn)并開發(fā)具有出色耐用性的存儲(chǔ)器，它有望用于下一代計(jì)算系統(tǒng)。

最近，數(shù)據(jù)密集型計(jì)算系統(tǒng)設(shè)備)的發(fā)展增加了對(duì)新一代非易失性存儲(chǔ)器的需求，這種存儲(chǔ)器具有出色的耐用性、更高的運(yùn)行速度、且功耗低。電阻式隨機(jī)存儲(chǔ)器是存儲(chǔ)器的一種，通過(guò)電流改變存儲(chǔ)信息。

溶液工藝技術(shù)作為一種開發(fā)電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器的方法而備受關(guān)注，它可以實(shí)現(xiàn)大面積的經(jīng)濟(jì)高效制造。然而，它的缺點(diǎn)是只能在高溫下工作，并且形成均勻的圖案具有挑戰(zhàn)性。

該研究小組由電子工程與計(jì)算機(jī)科學(xué)系的Hyuk-jun Kwon教授領(lǐng)導(dǎo)，該研究的第一作者是Bong-ho Jang。

Kwon教授的團(tuán)隊(duì)將燃燒合成技術(shù)與溶液工藝相結(jié)合，克服了這些缺點(diǎn)。燃燒合成技術(shù)利用放熱反應(yīng)，利用燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的熱量來(lái)合成材料。因此，該技術(shù)有助于解決溶液過(guò)程的缺點(diǎn)，因?yàn)椴恍枰獜耐獠刻峁└邷亍?/p>

Kwon教授的團(tuán)隊(duì)將該技術(shù)應(yīng)用于溶液工藝的前體，即使在較低的溫度下，也能通過(guò)與紫外線的光化學(xué)反應(yīng)獲得高質(zhì)量的氧化鋯薄膜和光圖案化效果。

此外，研究團(tuán)隊(duì)還利用該技術(shù)生產(chǎn)了電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器。所制造的電阻式隨機(jī)存儲(chǔ)器具有顯著的耐用性，在高溫環(huán)境下可耐受超過(guò)1,000次循環(huán)，并保留數(shù)據(jù)超過(guò)100,000秒。

此前，Kwon教授的研究團(tuán)隊(duì)已應(yīng)用燃燒合成技術(shù)在低溫下生產(chǎn)SnO2 薄膜晶體管。這項(xiàng)研究通過(guò)克服現(xiàn)有解決方案工藝技術(shù)的局限性并開發(fā)出一種新型的電阻式隨機(jī)存取存儲(chǔ)器，擴(kuò)大了該技術(shù)的應(yīng)用范圍。

電氣工程與計(jì)算機(jī)科學(xué)系的權(quán)教授表示:“這是顯著改善現(xiàn)有溶液工藝技術(shù)問(wèn)題的結(jié)果。它也有望為下一代密集計(jì)算系統(tǒng)和基于溶液工藝的電子產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)做出貢獻(xiàn)。”設(shè)備。”

該研究發(fā)表在《材料科學(xué)與技術(shù)雜志》上。

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